第十六类 机器、机械器具、电气设备及其零件；录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件（84-85章）
[品目编码：8486] 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释九（三）规定的机器及装置；零件及附件
| HS编码 | 商品名称 | 计量单位 | 出口退税率 | 申报要素 |
|---|---|---|---|---|
| 84864010.00 | 主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863039.00 | 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863022.00 | 制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD) | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84869090.00 (已作废) | 其他品目8486项下商品用零件和附 | 千克/ | 17.00 | 查看详情 |
| 84862010.00 | 氧化、扩散、退火及其他热处理设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84862041.00 | 制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863021.00 | 制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD) | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84864022.20 (已作废) | 全自动铜丝焊接机 | 台/ | 17% | 查看详情 |
| 84862031.00 | 制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84861040.00 | 制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备(CMP) | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863010.00 | 制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84862049.00 | 其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84869091.00 | 带背板的溅射靶材组件 | 千克/ | 13% | 查看详情 |
| 84864022.01 (已作废) | 全自动铝丝焊接机 | 台/ | 17.00 | 查看详情 |
| 84863090.00 | 其他制造平板显示器用的机器及装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863049.00 | 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863031.00 | 制造平板显示器用分步重复光刻机 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84862050.00 | 制造半导体器件或集成电路用离子注入机 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84864022.90 (已作废) | 其他引线键合装置 | 台/ | 17% | 查看详情 |
| 84864022.10 (已作废) | 全自动铝丝焊接机 | 台/ | 17% | 查看详情 |
| 84862021.00 | 制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84861030.00 | 制造单晶柱或晶圆用的切割设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84864022.00 | 引线键合装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84862090.00 | 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84869099.00 | 其他品目8486项下商品用零件和附件 | 千克/ | 13% | 查看详情 |
| 84862039.00 | 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84861090.00 | 其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84861020.00 | 制造单晶柱或晶圆用的研磨设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84861010.00 | 利用温度变化处理单晶硅的机器及装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84864039.00 | 其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84864021.00 | 塑封机 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863029.00 | 其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84864022.30 (已作废) | 全自动金丝焊接机 | 台/ | 17% | 查看详情 |
| 84862022.00 | 制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84864031.00 | IC工厂专用的自动搬运机器人 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84863041.00 | 制造平板显示器用超声波清洗装置 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84862029.00 | 其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |
| 84869020.00 | 引线键合装置用零件或附件 | 千克/ | 13% | 查看详情 |
| 84869010.00 | 升降、搬运、装卸机器用零件或附件 | 千克/ | 13% | 查看详情 |
| 84864029.00 | 其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备 | 台/千克 | 13% | 查看详情 |